江苏先导微电子卷对卷磁控溅射设备交付有力支撑徐州“343”创新集群发展

近年来，徐州高新区大力扶持民营企业，坚定不移地推动民营经济向高质量、高效益发展，民营经济规模比重不断提高，已成为经济发展的主力军。

先导科技集团作为稀散金属全产业链的高科技集团企业，已经在徐州高新区落地两个项目。总投资51亿元的先导微电子半导体设备制造基地项目已正式投产，总投资67亿元的先导薄膜总部及生产基地项目即将全面投产。

11月19日，江苏先导微电子科技有限公司自主研发的用于大尺寸卷对卷磁控溅射设备，经过多日严苛的装配检验和调试，顺利通过场内工艺验收并正式发货。进一步巩固了其在国产高端薄膜沉积设备领域的领先地位，对徐州的半导体、集成电路等战略性新兴产业起到强效补链的作用，有力支撑徐州“343”创新集群提质增效、做强做优，也为江苏省乃至全国在柔性领域高端装备的高质量发展增添全新动能。

该设备将多项先进技术集于一体，主要应用于柔性显示领域。其基材宽度1350mm，采用双工艺腔体，双镀膜鼓的方式，单个镀膜鼓可配置多达12根溅射靶管，通过独特的冷却方式，完美平衡了溅射热量和基材冷却的问题，同时配备全自动闭环张力控制系统，搭配自主研发的展平系统和张力辅助系统，能最大程度减少对薄膜和膜层的损伤，有效提升镀膜效率和维护保养效率。卷对卷技术凭借在生产效率、生产成本、生产规模和产品质量等多方面的优势，对于柔性显示产品的大批量生产以及全核心层沉积有着明显的促进作用。

目前，徐州高新区正在加快围绕“343”产业链部署创新链，加快组建由链主企业牵头的自主创新研发主体，持续抓好短板产业补链、优势产业延链、传统产业升链、新兴产业建链，逐步构建完善极具竞争力的现代化产业体系。