第九届国际先进光刻技术研讨会
-IWAPS 2025-
第九届国际先进光刻技术研讨会将于10月14-15日在深圳隆重举行!本次研讨会由中国集成电路创新联盟、中国光学学会主办,中国科学院微电子研究所、深圳市半导体与集成电路产业联盟(深芯盟)、南京诚芯集成电路技术研究院有限公司联合承办,诚邀全球业界精英共赴这场光刻技术领域的学术盛宴!
国际先进光刻技术研讨会,依托中国创新沃土,搭建全球交流平台。在国内外光刻专家的鼎力支持下,在全球企业、高校、协会等的共同推动下,IWAPS持续构建覆盖光刻设备、工艺制程、计量检测、掩模材料、计算光刻、系统协同优化及新型技术等全产业链的尖端技术对话平台。
本届盛会特别依托深芯盟的产业集群优势,汇聚深圳及湾区半导体企业、高校与科研机构的协同力量;同时联动湾芯展的产业生态资源,为全球领军企业提供展示创新蓝图的舞台,为科研院所搭建核心技术攻关的交流通道,为青年学者创造技术思辨的活跃氛围,更为投资机构提供洞察粤港澳大湾区半导体机遇的前瞻窗口。
第九届IWAPS计划于
2025年10月14-15日于深圳举行
请于10月13日报到
欢迎各位学术和产业届的朋友莅临指导,积极投稿演讲
SPIE成立于1955年,是一个致力于光学和光电子学的国际专业组织。总部位于美国华盛顿州贝灵厄姆,SPIE的使命是推进光学和光电子技术的科学、应用、教育和商业。SPIE每年举办多个国际会议和展览,为科学家、工程师和企业提供展示最新研究成果和技术的平台。此外,SPIE Digital Library是全球最大的光学和光电子学文献数据库之一,提供了丰富的学术期刊、会议论文集和书籍,覆盖光学、光电子学、激光技术、生物医学光学等领域。这些资源和活动不仅促进了全球光学和光电子学的发展,也推动了创新技术的应用和专业人才的培养。
-征稿范围-
i. Optical Lithography
ii. Emerging Patterning Technologies
iii. Metrology, Inspection and Testing
iv. Computational Lithography
v. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability
vi. Materials
vii. Process
-征稿要求-
摘要要求
摘要必须清楚地描述论文的性质、研究主题、研究内容、组织结构、要点以及研究意义。且用英文撰写。
摘要必须包括以下内容:论文标题、关键词、作者的姓名、所属单位、邮件地址和通讯地址。摘要的字数不应超过500个单词。对研究内容的细节的描述将增加稿件被接收的可能。同时,我们强烈建议在提交的摘要中使用图表。
摘要截至日期:2025年7月31日
摘要提交邮箱:
摘要录用通知日期:2025年8月21日
全文要求
本届会议论文将被送检SPIE Digital Library及EI,请务必在截止日期前投稿全文,否则不予送检,请严格参考模板格式。
全文提交截止日期 2025年9月30日
-往届精彩回顾-
IWAPS 2017 北京
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IWAPS 2018 厦门
链接:
IWAPS 2019 南京
链接:
IWAPS 2020 成都
链接:
IWAPS 2021 佛山
链接:
IWAPS 2022 北京 线上
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IWAPS 2023 丽水
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IWAPS 2024 嘉兴
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-往年论文集-
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